UV固化工艺中的温度管理

众所周知，在UV固化工艺中，一直存在温度对工艺的影响。UV光源发出的光谱都含有可见光以及红外光波段。令人困扰的是，在某些UV固化工艺中，高温不利于工艺的实现，过多的热量也会限制工艺窗口。而在另一些固化工艺中，一定的能量有利于固化材料的表面流平，提高交联反应效率。由此可以知道，在UV固化工艺中，良好的温度管理有利于寻找到最优固化工艺窗口。

减少IR辐射

UV光源在工作中会发出UV光和IR光, 红外光主要来源于光源石英灯管表面的辐射。因此可通过以下方式减少石英灯管表面的辐射。

降低灯管表面温

灯管工作温度大约在900度，当温度过高时会造成石英软化以及镜面化，影响使用寿命以及效果。过低的温度会使UV光源无法保持有效的UV强度输出。一个合适的温度可以有效的减少灯管的红外辐射同时保持稳定的UV光强输出。

减小灯管直径

由于红外辐射主要来源于石英灯管表面，减少灯管直径也可有效降低红源外辐射面积，从而降低温度。如下图1，2，灯管是由同样的材料制作，灯管的直径与红外光的辐射呈现正相关对应关系。

通过光源系统中的反射罩减少IR光

如下图，UV光源工作时会同时产生UV光和IR光，两种光源的波长段不同，同时在系统中都有利用反射罩装置来提高UV光源的输出效率。

如下图所示，不同波长段的光具有不同的穿透特性，因此选择性的反射罩可以有效的减少IR辐射通过反射罩到工作基材表面，且不影响UV光的输出效率。

下图是镀有特殊涂层的反射罩的反射效果，如图所示，有效的减少了IR光的反射同时，保持了UV光的反射效率。

控制基材的温度

通过加强对基材的冷却降低基材温度。

采用非聚焦方式，降低到基材表面IR光的辐射强度。

在确保固化工艺的基础上，减少基材照射的时间，进而降低温度。